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    芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)P83系列壓電驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭是將標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷相結(jié)合，通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)大范圍的測(cè)微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的位移,測(cè)微頭的分辨率是10μm，再通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長(zhǎng)或縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達(dá)20μm,壓電陶瓷運(yùn)動(dòng)的分辨率可＜1nm，這個(gè)壓電驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭可以對(duì)元件進(jìn)行大行程、高精度定位。

     芯明天壓電陶瓷促動(dòng)器宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)P84系列壓電驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭是將測(cè)微頭與高分辨率的壓電陶瓷結(jié)構(gòu)相結(jié)合，通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)測(cè)微頭實(shí)現(xiàn)大范圍的位移, 再通過(guò)控制驅(qū)動(dòng)電壓使壓電陶瓷相應(yīng)伸長(zhǎng)或縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭的精調(diào)節(jié)，壓電陶瓷行程范圍可達(dá)110μm, 壓電陶瓷運(yùn)動(dòng)的分辨率達(dá)2.5nm，測(cè)微頭的分辨率是10μm，整體結(jié)構(gòu)可以對(duì)元件進(jìn)行大行程、高精度定位。

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