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芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái)

P79系列Z向樣品升降壓電掃描臺(tái)為一維Z軸微動(dòng)平臺(tái)，它的移動(dòng)范圍可達(dá)210µm，定位分辨率可達(dá)3nm。

 芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電位移臺(tái)P79平臺(tái)可對(duì)樣品進(jìn)行Z軸快速精密的聚焦調(diào)節(jié)，階躍時(shí)間達(dá)毫秒量級(jí)。主要用于配套宏動(dòng)XY軸運(yùn)動(dòng)掃描平臺(tái)或壓電馬達(dá)平臺(tái)使用，在宏動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行樣品位置的粗調(diào)后，再通過P79壓電掃描臺(tái)進(jìn)行樣品位置的精確調(diào)整，定位精度達(dá)納米量級(jí)。

兩款規(guī)格型號(hào)、開環(huán)/閉環(huán)可選

P79系列Z向掃描臺(tái)具有兩種Z向行程范圍可供選擇，分別為110μm及210μm，可根據(jù)精確調(diào)整的運(yùn)動(dòng)范圍進(jìn)行選擇。

另外，P79系統(tǒng)可提供開環(huán)及閉環(huán)版本。開環(huán)版本定位速度更快，且分辨率更高；對(duì)于有定位精度及穩(wěn)定性需求的應(yīng)用，可以選擇配置SGS閉環(huán)傳感器，裝配在平臺(tái)的位置，提供高分辨率、快速響應(yīng)的傳感電壓信號(hào)給壓電控制器。全橋設(shè)計(jì)避免了溫度的漂移，確保了定位精度。

特性

• 一維Z向運(yùn)動(dòng)，zui大行程210μm            • zui大承載2kg          • 通孔尺寸：128.5×86.5mm                  

• 開環(huán)、閉環(huán)可選                                 • 閉環(huán)重復(fù)定位精度高

應(yīng)用

       • 熒光顯微  • 共焦顯微  • 精密定位/樣品檢測(cè)  •光學(xué)捕獲  • 掃描顯微  • 干涉/計(jì)量  • 自動(dòng)聚焦系統(tǒng)  • 表面檢測(cè)/3D成像  • 光學(xué)計(jì)量  • 光學(xué)顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物科技