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產(chǎn)品名稱:P72系列壓電物鏡定位器

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報價:

產(chǎn)品特點:P72系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構(gòu)設計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦 穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動物鏡頭聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

更新日期:2021-10-15

P72系列壓電物鏡定位器的詳細資料:

 P72系列壓電物鏡定位器是專門為物鏡聚焦顯微而設計的,采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構(gòu)設計,物鏡補償量較小,具有超高聚焦 穩(wěn)定性,物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀測裝置可以帶動物鏡頭聚焦提高精度,可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。

特點:

• 大行程110μm

• 大承載0.2kg

• 毫秒級響應時間

• 閉環(huán)重復定位精度高 • 開環(huán)/閉環(huán)可選

螺紋適配器便于安裝

P72物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙 可 選 , 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯 微鏡集成安裝。

典型應用

• 三維成像 • 干涉/計量

• 表面結(jié)構(gòu)分析 • 共焦顯微

• 生物科技 • 半導體測試

體積小巧、易于集成、高動態(tài)、直線性好

P72壓電物鏡定位器體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,可實現(xiàn) 大行程110μm的位移。多種螺紋牙連接器可選,易于與其 他光學顯微鏡等集成。

臺體采用柔性鉸鏈機構(gòu),無摩擦且具有*的分辨 率。由于其空載諧振頻率可達350Hz,且可帶載200g負載 作高速精密運動,在光學掃描、共焦顯微等領域得到廣泛 的應用。

可選擇閉環(huán)版本,實現(xiàn)超高的定位精度。

頻率負載曲線 推薦控制器

E00/E01

XE-709

E53

頁碼 157

頁碼 166

頁碼 171





1路輸出

1路輸出

1路輸出

上位機通信、模擬、旋鈕

模擬、上位機通信

模擬、上位機通信

開環(huán)/閉環(huán)

開環(huán)/閉環(huán)

開環(huán)/閉環(huán)

平均功率7W/35W

平均功率15W

平均功率10W


P72系列壓電物鏡定位器技術(shù)參數(shù):


型號

尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)

P72.Z100S P72.Z100K


單位

運動自由度

Z


標稱行程范圍(0~120V)

80

μm±20%

大行程范圍(-20~150V)

110

μm±20%

傳感器類型

SGS/-


閉/開環(huán)分辨率

5/2.5

nm

閉環(huán)線性度

0.1/-

%F.S.

閉環(huán)重復定位精度

0.05/-

%F.S.

推/拉力

110/15

N

運動方向剛度

1.4

N/μm±20%

空載諧振頻率

350

Hz±20%

閉/開環(huán)空載階躍時間

10/3

ms±20%


閉環(huán)空載工作頻率

10%行程

50


Hz±20%

行程

15

大承載

0.2

kg

靜電容量

3.6

μF±20%

材質(zhì)


重量

150

g±5%


以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。


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