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首頁 > 產(chǎn)品中心 > 壓電平移臺 > 壓電宏微復(fù)合臺 > P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺

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產(chǎn)品名稱：P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺

產(chǎn)品型號：P84.X 一維X軸 110μm

產(chǎn)品報(bào)價(jià)：

產(chǎn)品特點(diǎn)：P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺：
P84為標(biāo)準(zhǔn)測微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相結(jié)合，通過手動調(diào)節(jié)大范圍的測微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的移動，再通過控制驅(qū)動電壓，使壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對壓電陶瓷驅(qū)動測微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)。

更新日期：2021-03-23

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P84.X 一維X軸 110μmP84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺的詳細(xì)資料：

P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺：

宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)是通過宏動調(diào)節(jié)測微頭與壓電微動調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)完成大范圍精密定位需求。

通過測微頭與壓電微調(diào)機(jī)構(gòu)相結(jié)合的方式實(shí)現(xiàn)宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)，宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)可以與宏動平臺配合使用，組成大行程高精度壓電平移臺

P84.X一維X軸壓電宏微復(fù)合臺技術(shù)參數(shù)

型號		P84.X100S	P84.X100K	單位
運(yùn)動自由度		X	X
行程范圍		13mm+110µm	13mm+110µm	粗調(diào)+精調(diào)
平直度		<3	<3	µm/13mm
重量		400	400	g±5%
殼體材料		鋼、鋁	鋼、鋁
外形尺寸（長×寬×高）		140×90×23	140×90×23	mm×mm×mm
手動調(diào)節(jié)部分-千分尺
粗調(diào)行程范圍		13	13	mm
粗調(diào)分辨率（千分尺）		10	10	µm
導(dǎo)軌		交叉滾柱導(dǎo)軌	交叉滾柱導(dǎo)軌
驅(qū)動方式		螺紋副（分厘卡）	螺紋副（分厘卡）
千分尺靈敏度		<2	<2	µm
臺面尺寸		65×65	65×65	mm×mm
千分尺讀數(shù)		10	10	（微米/格）
千分尺螺距		0.5	0.5	mm/rev.
壓電驅(qū)動精調(diào)部分-壓電驅(qū)動
精調(diào)行程范圍	0~120 V，Nominal	80	80	µm±20%
精調(diào)行程范圍	-20~150 V，Max	110	110	µm±20%
傳感器類型		SGS	-
步進(jìn)/分辨率		7	2.5	nm, typ.
閉環(huán)線性度(壓電驅(qū)動)		0.1	-	%F.S.
重復(fù)定位精度		0.05	-	%F.S.
運(yùn)動方向推力		16	16	N
剛度		1	1	N/µm±20%
承載能力（Z向）*		500	500	g
工作溫度范圍**		-20~80	-20~80	°C
靜電容量		1.8	1.8	µF±20%
出線長		1.5	1.5	m±10mm
傳感/電壓連接器		LEMO	LEMO